Page 12 - E-Tez Bülteni Eylül 2025, SAYI 3

DOKTORA TEZİ
Elektrik-Elektronik Mühendisliği
Anabilim Dalı

Mikrodalga Kalkanlayıcı Malzeme Tasarım Ve Analizi

Umut Şükrü YAŞAR
Tez Danışmanı: Dr. Öğr. Üyesi Haydar KAYA
Tez Özeti

Bu tez çalışmasında, elektromanyetik spektrumun yoğun olarak kullanılan mikrodalga frekans bandında (8–12 GHz)
elektromanyetik kalkanlama sağlayacak ultra ince metalik filmler araştırılmıştır. İnce film üretiminde önemli üstünlükleri bulunan
sputter yöntemi kullanılarak, yaklaşık 80 nm ile 500 nm aralığında değişen farklı kalınlıklarda (80, 120, 170, 250, 300 ve 500 nm)
saf Al, Co, Cr ve Ti ince filmleri büyütülmüştür. Büyütülen filmler, yapısal ve morfolojik özelliklerini belirlemek amacıyla XRD ve
SEM analizleri ile karakterize edilmiştir. Daha sonra, üretilen filmlerin elektromanyetik kalkanlama performansları, vektör ağ
analizörü ile dalga kılavuzu iletim hattı kullanılarak incelenmiş ve saçılma parametreleri üzerinden değerlendirilmiştir. Elde edilen
sonuçlar, ultra ince metalik filmlerin seçilen nanometre ölçeğindeki kalınlıklarda hem yansıma hem de soğurma mekanizmalarıyla
gelen mikrodalga sinyallerinin %90’ından fazlasını etkin bir şekilde engellediğini ortaya koymaktadır. Özellikle alüminyum ince
filmler, hafifliği ve etkin kalkanlama performansı ile öne çıkmıştır. Bu çalışma, hacimsel tasarrufun önemli olduğu mini ölçekli
elektronik cihazlar için yüksek performanslı kalkanlayıcı malzeme geliştirilmesine katkı sağlamaktadır.

Anahtar kelimeler: Elektromanyetik dalga kalkanlama, Kalkanlama etkinliği, Mikrodalga, Saçılma
parametreleri, İnce film